特點：
0.1μm粒徑以上的顆粒數(shù)可以降低至＜5個/ml；
B元素去除要求達到PPT級；
出廠均進行完整性測試，保證無泄漏；
采用無死角設計，避免微生物滋生。
精密處理系統(tǒng)
半導體行業(yè)對超純水中的顆粒物要求非常苛刻，超純水制造中對于顆粒物和各種元素的最終去除需要采用高精度的去離子和過濾等工藝，并且材質的化學性質和結構強度必須非常穩(wěn)定，要求處理精度達到PPT級，需要高尖端技術和經驗。
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